Original
BLANCO DE SPUTTERING DE ÓXIDO DE NIOBIO
Blanco de sputtering Haohai óxido de niobio (Nb2O5, NbOx) perfecto, alta pureza y microestructura de grano muy fino, superficie lisa, sin grietas, sin saltar, sin inclusiones extranjeras y contaminantes, son ampliamente utilizados por fabricación de capa de vidrio de gran superficie en la industria del vidrio arquitectónico, gafas de pantalla de panel plano y vidrios de capa web.
HaohaiÓxido de niobio (Nb2O5, NbOx)Farfulla objetivos incluyenÓxido de niobio (Nb2O5, NbOx)farfulla objetivos de Rotary yÓxido de niobio (Nb2O5, NbOx)objetivos de pulverización planas.
Niobio óxido (Nb2O5, NbOx) rotativo (Rotary, cilíndrico) farfulla objetivos
Gama de fabricación
OD (mm) |
ID (mm) |
Longitud (mm) |
Por encargo |
80 - 160 |
60 - 125 |
100 - 4000 |
Especificación
Composición |
Nb2O5, Nb2Ox |
Pureza |
3N5 (99.95%), 4N (99.99%) |
Densidad |
4,3 g/cm3 |
Tamaños de grano |
andlt; 200 micrones o a petición |
Procesos de fabricación |
Pulverización de plasma mecanizado |
Forma |
Recto, hueso de perro |
Tipos de extremo |
SCI, SRF, DSF, RFF, WFF, VA, fijación de extremos GPI, surco de la espiral, Encargo para SS soporte tubo |
Superficie |
RA 1.6 micrones |
Otra especificación
✦El vapor desengrasar y desmagnetizadas después del mecanizado final.
✦ID a ser afilado con PIEDRA y TIERRA OD después tubo crudo se produce para asegurar concentricidad OD ID cumple requisitos de dibujos.
✦Alto vacío apretado, fuga en cualquier lugar no debe exceder de 1 x 10-8STD CC/SEG.
✦Sellado de plástico, envuelto en espuma para proteger y extremos capsulados proteger el sello de superficies.
Blanco de Sputtering de niobio óxido (Nb2O5, NbOx) Planar (rectangular, circular)
Gama de fabricación
Rectángulo de |
Longitud (mm) |
Ancho (mm) |
Espesor (mm) |
Por encargo |
10 - 2000 |
10 - 300 |
5.0 - 40 |
||
Circular |
Diámetro (mm) |
Espesor (mm) |
||
5.0 - 300 |
5.0 - 40 |
Especificación
Composición |
Nb2O5, Nb2Ox |
Pureza |
3N5 (99.95%), 4N (99.99%) |
Densidad |
4,3 g/cm3 |
Tamaños de grano |
andlt; 200 micrones o a petición |
FabricaciónProcesos |
CADERA, adoptar sinterizado, mecanizado, vinculación |
Forma |
Multi-dividido en segmentos objetivo, la vinculación en la placa de respaldo de Cu |
Tipos |
Placa, disco, de paso, abajo se emperna, Threading, por encargo |
Superficie |
RA 1.6 micrones |
Otras especificaciones
Llanura, superficie limpia lisa, pulida, libre de aceite, punto, crack, etc..
Excelentes conducciones, coeficiente de dilatación lineal pequeña y buena resistencia al calor.
Para nuestros objetivos de pulverización de óxido de niobio (Nb2O5, NbOx)
Tolerancia
Según los dibujos o a petición.
Contenido de impurezas [ppm]
Contenido de óxido de niobio [ppm] |
Nb2O5 |
|
Pureza [%] |
andgt; 99.95 |
|
Impurezas metálicas [ppm] |
Al |
10 |
CA |
20 |
|
CR |
10 |
|
Cu |
20 |
|
Fe |
30 |
|
Mo |
10 |
|
Ni |
10 |
|
SB |
45 |
|
Si |
150 |
|
TA |
100 |
|
Resistividad [ohm.cm] 20℃ |
andlt; 0.1 |
|
Garantizada la densidad [g/cm3] |
