SILICIO BLANCO de SPUTTERING de ALUMINIO (SiAl)
Haohai silicio aluminio (SiAl) blanco de sputtering con densidad ideal, alta pureza y microestructura de grano muy fino, superficie lisa, sin grietas, sin saltar, sin inclusiones extranjeras y contaminantes, principalmente sputter para películas delgadas de SiO2 y Si3N4, que son ampliamente utilizadas en la industria del vidrio automotor y arquitectónico, vidrio, conductivo y resistente a los reflejo y gafas de pantalla de video de pantalla plana.
HaohaiSilicon aluminio (SiAl)Farfulla objetivos incluyenSilicon aluminio (SiAl)rotatorios farfulla objetivos
Silicon aluminio (SiAl) rotativo (Rotary, cilíndrico) farfulla objetivos
Gama de fabricación
OD (mm) |
ID (mm) |
Longitud (mm) |
Por encargo |
80 - 160 |
60 - 125 |
100 - 4000 |
Especificación
Composición |
SiAl (90/10% en peso±1%) |
Pureza |
3N (99.9%) |
Densidad |
2,2 g/cm3 |
Tamaños de grano |
andlt; 200 micrones o a petición |
Procesos de fabricación |
Pulverización de plasma mecanizado |
Forma |
Recto, hueso de perro |
Tipos de extremo |
SCI, SRF, DSF, RFF, WFF, VA, fijación de extremos GPI, surco de la espiral, Encargo para SS soporte tubo |
Superficie |
RA 1.6 micrones |
Otra especificación
✦El vapor desengrasar y desmagnetizadas después del mecanizado final.
✦ID a ser afilado con PIEDRA y TIERRA OD después tubo crudo se produce para asegurar concentricidad OD ID cumple requisitos de dibujos.
✦Alto vacío apretado, fuga en cualquier lugar no debe exceder de 1 x 10-8STD CC/SEG.
✦Sellado de plástico, envuelto en espuma para proteger y extremos capsulados proteger el sello de superficies.
Para el silicio de aluminio (SiAl) farfulla objetivos
Tolerancia
Según los dibujos o a petición.
Contenido de impurezas [ppm]
Contenido de aluminio de silicio [90/10% en peso] |
SiAl |
|
Pureza [%] |
99.9 |
|
Impurezas metálicas [ppm] |
CA |
60 |
Cu |
38 |
|
Fe |
200 |
|
GA |
20 |
|
Ti |
20 |
|
Zn |
70 |
|
Impurezas no metálicas [ppm] |
O |
5000 |
N |
100 |
|
Garantizada la densidad [g/cm3] |
2.2 |
|
Tamaño de grano [μm] |
200 |
Aplicación
✦Gran área vidrio (Low-E) de la capa
✦Industria de la exhibición
✦Capa óptica
✦ Solar YAMP; Industria fotovoltaica
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