CIRCONIO (Zr) FARFULLA OBJETIVOS

Así como de productos de titanio, el circonio es un productos principales del Haohai, nos centramos en los materiales de zirconio y su aplicación durante mucho tiempo. Haohai circonio farfulla objetivos y arc cátodos son bien conocidos y ampliamente utilizado en campo de recubrimiento PVD debido a la alta pureza, tamaño de grano fino, homogéneo microstructure, excelente estado de la superficie y dimensiones exactas.

Blanco de sputtering de circonio Haohai incluyen ziconium monolítico rotativo blanco de sputtering, blanco de sputtering planar de circonio y arco catódica blanco.

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Circonio monolítico giratorio (rotativo, cilíndrico) de sputtering

Gama de fabricación

OD (mm)	ID (mm)	Longitud (mm)	Por encargo
50 - 300	30 - 280	100 - 4000

Especificación

Composición	ZR
Pureza	R60702, 3N (99.9%),3N5 (99.95%), 4N (99.99%)
Densidad	de 6,50 g/cm3
Tamaños de grano	andlt; 80 micras o a petición
Procesos de fabricación	Fundición, forja, extrusión, mecanizado de vacío
Forma	Recto, hueso de perro
Tipos de extremo	SCI, SRF, DSF, RFF, WFF, VA, GPI termina fijación, surco de la espiral, por encargo
Superficie	RA 1.6 micrones

Otra especificación

✦Vapor de desgrasado y desmagnetizadas después del mecanizado final

✦ID a ser afilado con PIEDRA y TIERRA OD después tubo crudo se produce para asegurar concentricidad OD ID cumple requisitos de dibujos.

✦Alto vacío apretado, fuga en cualquier lugar no debe exceder de 1 x 10^-8STD CC/SEG.

✦Sellado de plástico, envuelto en espuma para proteger y extremos capsulados proteger el sello de superficies

Tamaños normales

Rotary de circonio Blanco de sputtering

Tamaños normales

ID 55mm x 70 mm OD x 1334 mm de largo Identificación de 80mm x 100mm OD x largo ID de 125mm x 153 mm OD x 576 mm de largo ID de 125mm x 153 mm OD x 800 mm de largo ID de 125mm x 153 mm OD x 895 mm de largo ID de 125mm x 155 mm OD x 895 mm de largo ID de 125mm x 153 mm OD x 1172 mm de largo ID de 125mm x 153 mm OD x 1676 mm de largo ID de 125mm x 153 mm OD x 1940 mm de largo ID de 125mm x 153 mm OD x 1994 mm de largo ID de 125mm x 153 mm OD x 2420 mm de largo ID de 125mm x 153 mm OD x 3191 mm de largo ID de 125mm x 153 mm OD x 3582 mm de largo ID de 125mm x 153mm OD x largo ID de 125mm x 180 mm OD x 624 mm de largo ID 194mm x 219 mm OD x 2301 mm de largo

En comparación con las configuraciones planas, ofrecemos Haohai cilíndrico blanco de sputtering:

✦Zonas de erosión más grandes que proporcionan de 2 a 2.5 veces la utilización de material

✦Vida más larga del objetivo que reduce la frecuencia de tiempo de inactividad para mantenimiento recambios y cámara

✦Fabricación a medida en formatos de spray monolítico, segmentada o térmica

✦Características de la gama que son precisión trabajados a máquina para diseños de sistemas individuales de cátodo

✦Reducir el costo de propiedad para las operaciones de recubrimiento de área grande

✦Variedad de materiales incluyendo

✦Tamaño de grano óptimo y uniforme microestructura aseguran un rendimiento consistente proceso hasta final completo de la vida

✦Niveles de alta pureza y homogeneidad completa producen cobertura consistente

✦Capaz de suministrar los materiales a cualquier operación de tamaño de Randamp; D a la producción a gran escala

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Blanco de Sputtering de circonio Planar (rectangular, circular)

Gama de fabricación

Rectángulo de	Longitud (mm)	Ancho (mm)	Espesor (mm)	Por encargo
	10 - 2000	10 - 1200	1.0 - 50.8
Circular	Diámetro (mm)		Espesor (mm)
	10 - 1000		1.0-100

Especificación

Composición	ZR
Pureza	R60702, 3N (99.9%), 3.5N (99.95%),4N (99.99%), 4.5N (99.995%)
Densidad	de 6,50 g/cm3
Tamaños de grano	andlt; 80 micras o a petición
Procesos de fabricación	Vacío de fusión, forja, laminado, mecanizado
Forma	Placa, disco, paso, medida
Tipos	Objetivo monolítico, multi-dividido en segmentos
Superficie	RA 1.6 micrones

Otras especificaciones

Objetivos de rectángulo

Laminado en placas, por ASTM B551

Objetivos del rectángulo, cortar placas grandes en tamaños por chorro de agua, para asegurarse de que la composición, propiedades mecánicas y la estructura del grano de cada parte en el mismo lote es homogénea y consistente. Podemos suministrar el diseño de la placa principal, nuestro cliente puede rastrear la posición de cada parte de nuestro sistema de marcado.

Objetivos circular

Barras cilíndricas acero, por ASTM B550

Para los objetivos circulares, cortar barras largas en tamaños cortando alambre-electrodo, para asegurarse de que la composición, propiedades mecánicas y la estructura del grano de cada parte dentro del mismo lote es homogéneo y coherente, podemos suministrar el diseño de la barra principal, nuestro cliente puede rastrear la posición de cada parte de nuestro sistema de marcado.

Nos aseguramos de la misma dirección del grano en las partes de construcción multi-dividido en segmentos.

Llanura, superficie limpia, pulida, libre de aceite, punto, crack, etc..

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Cátodos de circonio arco

Suministramos los cátodos de arco rotatorio y planas así como rotativas y pl